Informationen über UPTIMUM burnwet
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Spezifikation, Optimale Entsorgung von CVD-Prozessen, Geringer Wartungsaufwand - Hohe Verfügbarkeit, Große Querschnitte der Schadgasleitungen, Keine Verblockungen der Schadgaseinlässe, Geringer Druckverlust, Wenig Platzbedarf, Kaltes Abgas in der Abluft Technische Daten, B 1500 mm x T 1000 mm x H 2100 mm, Max. Schadgasmenge: 500 slm, Bis zu vier beheizte Schadgaseinlässe DN40 (max. 200°C), Brenngas CH4, LPG (LNG, CNG) / Oxydant O2, Druckluft, Kommunikation mit Prozesstool erforderlich, Anbindung an Monitoring-Netzwerk möglich, 3 x 400V / 3 x 208V UPTIMUM - Burn/Wet Technology for safe and efficient treatment of CVD process gases UPTIMUM ist eine der führenden Technologien für die Verbrennung von Abgasen bei einer gleichzeitigen Reinigung der restlichen Stoffe. Die Anlage entsorgt bis zu 500 slm Abgase aus CVD Prozessen. Diese werden dem kombinierten Brenner-Wäscher System über maximal vier separate Schadgaseinlässe zugeführt. Anders als bei der ESCAPE-Technologie erfolgt das Brennen von oben nach unten. Ein Flüssigkeitsfilm an der Reaktorinnenwand verhindert Korrosion und die Ablagerung von Feststoffpartikeln. In der Waschkolonne, die parallel zum Reaktor angeordnet ist, werden lösliche Komponenten absorbiert und Partikel suspensiert. Depositionsgase, wie zum Beispiel SiH4, NH3 etc. und auch Kammerreinigungsgase, wie NF3, F2 oder SF6, können von UPTIMUM sicher und effizient entsorgt werden.Die Anlage zeichnet sich durch hohe Verfügbarkeit und Behandlungseffektivität, wenig Serviceaufwand, geringen Platzbedarf, niedrige Anschaffungskosten und Netzwerkfähigkeit aus. Es können verschiedene Brenngase eingesetzt werden.
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