Informationen über AQUABATEEPI wet
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Anwendungen Epitaxie RP + AP DCS, SiH4, TCS, B2H6, PH3, AsH3, HCl SiGe - Epitaxie* SiH4, GeH4, HCl * oft in Kombination mit ESCAPE-Technologie oder Trockenabsorbern Optionen Prozessdruckreglung Für kritische Prozesse bei denen hohe Druckstabilität gefordert wird Wärmetauscher Für geringeren Wasserverbrauch bei hohen Laugekonzentrationen Chemikaliendosierung z.B. Lauge, für höhere Effizienzen bei bestimmten Gasen pH-Messung Für kontrollierte Chemikaliendosierung Beheizte Gaseintritte Für kritische Gase Netzwerkfähigkeit Für Monitoring mehrerer Wäscher (Drücke, Pegel, Zustände, Alarmlisten) nur für OMRON-SPS Ableitung mittels Unterdruck Abpumpen der verbrauchten Waschflüssigkeit in höher gelegene Abwassersysteme EPI steht für Epitaxie. Diese Wäscher sind speziell für die Entsorgung von Epitaxie-Prozessen entwickelt. Wir legen bei diesen Wäschern besonderen Wert auf hohe Sicherheitsstandards in Bezug auf das bei der Epitaxie verwendete Trägergas Wasserstoff. Nach dem Wäscher wird der Wasserstoff kontrolliert auf die untere Explosionsgrenze (UEG) verdünnt. Atmosphärisch und epitaxiereduziert - Lange Wartungszyklen auch bei hohen TCS - Flüssen - Geringer Staubaustrag - Hohe Effizienz - Sehr hoher Sicherheitsstandard - Ausgereiftes Sicherheitskonzept - Geringer Platzbedarf - Wartungsfreundlich - Wartungsfreie, magnetgekoppelte Kreiselpumpe - Optimale Ausnutzung der Waschflüssigkeit - Wartungsfreie, verstopfungsunempfindliche Sprühdüsen - Keine Füllkörper, wartungsfreie Absorptionsstrecke - Komplette Einhausung permanent besaugt - Doppeltes Entnebelungssystem mit automatischer Reinigungsfunktion - Ableitung mittels Unterdruck optional erhältlich - Optionale Chemikaliendosierung möglich - Netzwerkfähig optional - Prozessdruckreglung optional Technische Daten Dimensionen: 1800mm x 1200mm x 900mm ( H x B x T ) Energie: 2,7kW / 3x400V Frischwasser*: 140 liter / h Abwasser*: 140 liter / h Stickstoff*: 120 liter / min Gaseintritt: max. 3 x KF40 Gasaustritt: DN50 max. Gasmenge*: 36 m³ / h Steuerung: OMRON-SPS * Prozessabhängig AQUABATEEPI
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