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Abgasentsorgung DAS Environmental Expert GmbH

Benutzen Sie unser Produktanfrageformular um sich umgehend Ihr kundenspezifisches Angebot zukommen zu lassen. Abscheider für Volumenströme bis zu 600m³/h mit kondensierbaren organischen Kohlenstoffverbindungen. Die Anlage verfügt über einen Abgaskühler und einen effizienten Aerosolabscheider. Das System reduziert den Gesamtkohlenstoffgehalt des Schadgases und verhindert damit ein Verblocken der Abgasleitungen mit Kondensat. Zusätzlich werden im Abgas enthaltene Stäube abgeschieden. UPTIMUM - Burn/Wet Technology for safe and efficient treatment of CVD process gases UPTIMUM ist eine der führenden Technologien für die Verbrennung von Abgasen bei einer gleichzeitigen Reinigung der restlichen Stoffe. Die Anlage entsorgt bis zu 500 slm Abgase aus CVD Prozessen. Diese werden dem kombinierten Brenner-Wäscher System über maximal vier separate Schadgaseinlässe zugeführt. Anders als bei der ESCAPE-Technologie erfolgt das Brennen von oben nach unten. Ein Flüssigkeitsfilm an der Reaktorinnenwand verhindert Korrosion und die Ablagerung von Feststoffpartikeln. In der Waschkolonne, die parallel zum Reaktor angeordnet ist, werden lösliche Komponenten absorbiert und Partikel suspensiert. Depositionsgase, wie zum Beispiel SiH4, NH3 etc. und auch Kammerreinigungsgase, wie NF3, F2 oder SF6, können von UPTIMUM sicher und effizient entsorgt werden.Die Anlage zeichnet sich durch hohe Verfügbarkeit und Behandlungseffektivität, wenig Serviceaufwand, geringen Platzbedarf, niedrige Anschaffungskosten und Netzwerkfähigkeit aus. Es können verschiedene Brenngase eingesetzt werden. GIANT ist ein kombiniertes Brenner-Wäscher-System für höhere Abgasmengen. Abscheidungsgase wie SiH4 und NH3 aber auch Kammer-Reinigungsgase wie NF3 oder F2 können sicher und effizient behandelt werden.

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