4 Versorgungsgebiete für insgesamt 15.000 E, Ortsnetze und Überleitungen mit ca. 80 km Rohrlänge
25 Hochbehälter
,
2 Pumpstationen
,
5 Druckminderschächte
Gasversorgungen aller Art
Für Labore, Schweißplätze und auch für die Schutzgasatmosphäre von Öfen: Wir planen und installieren die komplette Technik für alle Gase.Begasungsstand für einen Sinterofen, mit Mess- und...
Lösungen für die Gasversorgung
Leitstelle
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Prozessvisualisierung, Handeingriff und Sollwertvorgabe
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Alarmieren und Protokollieren von Störungen
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Dokumentation aller Vorgänge
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Bilanzierung und...
Die ALOHA-Produktlinie beinhaltet alle CVD und ALD Precursor für den Bereich unter 130nm, lieferbar in Kapazitäten, welche von mehreren Tonnen von low-k Material bis zu wenigen Gramm für Anwendungen unter 45nm in der Forschung...
Was möchten Sie erreichen?
Sie möchten. dass Ihnen Precursor in Gefäßen mit einer speziellen Konfiguration geliefert werden?
, Sie haben an die Precursor-Gefäße konkrete Anforderungen bezüglich der Anschlüsse?
, Sie benötigen...
Eigene Hydraulikversorgung
Bestehend aus einem 50 l Öltank, einer Zapfwellenaufsteckpumpe (wahlweise 1 3/8“ oder 1 3/4“), einem Pumpenhalter und diversen Hydraulikleitungen.
Das CANDI-System für CVD- und ALD-Prozesse bietet eine sehr hohe Zuverlässigkeit bei
einer Entnahme von Precursorn sehr niedrigen Dampfdrucks.
für konventionelle "Oxide Precursor":
, für USG- und BPSG-Prozesse: TEOS, TEB, TEPO,....
Netzteile
Spannungsversorgung UCS-58 230 / AUX Spannungsversorgung für GSM-2110 und GSM-4110 für 110-240 Volt AC / DC 12 mit Anschluss für Notstromakku (ohne Akku). Out = 12 V / max 2,0 A Gehäuse für...
